三床 RTO 主要由陶瓷蓄熱床、燃燒器、內保溫及電氣控制系統等組成。RTO 設備為三床式結構設計，具有去除效率高、運行穩定、能耗低等特點。含揮發性有機化合物(VOCs)的廢氣通過閥門的切換，進入 RTO 的蓄熱床，廢氣被蓄熱陶瓷逐漸加熱后進入燃燒室，VOCs 在燃燒室內高溫氧化并放出熱量，形成的熱風在通過另一蓄熱床時，與蓄積陶瓷進行熱交換，蓄積熱量，以減少輔助燃料的消耗。蓄熱陶瓷被熱風加熱的同時，被氧化的干凈氣體溫度逐漸降低，使得出口溫度略高于 RTO 入口溫度。把有機廢氣加熱到 760℃以上，使廢氣中的揮發性有機物（VOCs，Volatile OrganicCompounds）在燃燒室中氧化分解成二氧化碳和水。氧化產生的高溫氣體流經特制的陶瓷蓄熱體，使陶瓷體升溫而“蓄熱”，下個過程是廢氣從已經“蓄熱”的陶瓷經過，將陶瓷的熱量傳遞給廢氣，有機廢氣通過陶瓷作為換熱器載體，反復進行熱交換，從而節省廢氣升溫的燃料消耗，降低運行成本。
